물품설명
- 주요 특성
· 반도체 웨이퍼 및 다이의 표면을 관찰하여 불량을 검출하는 데 사용하는 광학식 현미경
· 반사·편광·자외선·암시야 방식으로 샘플을 관찰
· 현미경 본체만 제시되었으며, 별도의 디지털 카메라가 부착되지 않음.
(수입 후 국내에서 디지털 카메라와 PC를 연결하여 사용)
· 또한, 반도체 웨이퍼나 레티클의 취급과 이송용으로 고안된 장치가 부착되지 않음.(손으로 직접 샘플을 옮겨서 사용)

- 주요 구성요소
· 메인바디 : 현미경 본체. 회전 가능한 대물렌즈의 어댑터가 장착
· 대물렌즈 : 최대 6개의 대물렌즈 장착 가능
· 접안렌즈 : 2개의 접안렌즈를 통해 샘플 관찰
· 제 물 대 : 12인치 웨이퍼 대응. 측정거리 350*300mm
· 광 원 : 12V/50W 할로겐 광원에서 빛 조사

- 작동 원리
1) 반사 관찰 방법 : 별도의 필터 없이 빛을 샘플에 조사하여 반사된 반사광 관찰
2) 편광 관찰 방법 : Analyzer, Polarizer 칩을 본체에 삽입하면 Optical path(광 경로)에 Analyzer, Polarizer가 위치하게 됨. 이때 빛을 편광시켜 일정한 방향으로 진동하는 투과광을 관찰
3) 자외선 관찰 방법 : 자외선을 내는 광원에 형광필터를 걸어 유효하게 형광을 발하는 자외선을 시료에 조사하여 관찰
4) 암시야 관찰 방법 : 배경을 어둡게 한 뒤, 빛을 시료 아래에서 조사하여 투과된 광선을 이용하여 관찰.

결정사유
- 관세율표 제9011호에 "광학현미경(마이크로 사진용·마이크로 영화촬영용·마이크로 영사용을 포함한다)"을 규정함.
· 같은 호 해설서에 "이 호의 광학현미경은 이미 확대된 물체의 상을 관찰하기 위하여 다시 제2단계의 확대를 행하는 기구가 갖추어져 있다. 광학현미경(compound optical mircoscope)은 보통 다음의 기구로 구성되어 있다. (Ⅰ) 광학장치(optical system) : 주로 물체의 확대 상을 얻도록 설계된 대물경과 그 확대 영상을 더 증대시키는 접안경으로 구성된다. 이 광학장치는 또한 외부나 내부의 광원으로 조명되는 거울(mirror)에 의하여 밑으로부터 물체를 비추는 장치와 반사광이 거울에서 그 물체로 직사되는 집광렌즈를 갖추고 있다. (Ⅱ) 시료대(specimen stage) : 한 개나 두 개의 접안경통(현미경이 단안형인가, 쌍안형인가에 따라서)과 대물경통(일반적으로 회전방식)

- 본 물품은 광학장치와 시료대를 갖춘 광학현미경으로, 별도의 디지털 카메라나 샘플 이송 장치가 부착되지 않았음

- 따라서, 본 물품은 기타 그 밖의 광학현미경이므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제9011.80-9000호에 분류함