물품설명
ㅇ 물품개요
- 반도체 세정공정에서 세정액(초순수*, 화학물질) 등의 온도를 일정하게 유지하기 위해 세정액을 가열·냉각하는 장치
* 이온(전기 전달물질)을 제거된 순수한 물로 반도체 웨이퍼 세정 등에 사용
※ 본건물품(Cooling/Heating Unit) 제어하는 컨트롤러(GRT-612-R-UL)는 미제시
· 온도설정범위 : 15℃∼50℃ / 온도조절 정확성 ± 0.1℃
· Cooling capacity : 810W / Heating capacity : 1980W
ㅇ 구성요소별 기능
- 열전소자(Thermo-Module) : 전자의 이동으로 가열·냉각하는 유닛
- Heat conducting plate(알루미늄 재질) : 열전모듈 냉각을 위한 판
- PFA(테프론) 배관 : 약액의 이동 통로
- Water Cooling Jacket : 가열된 열전모듈의 냉각을 위한 유닛
- Temperature control sensor : 온도 센서로서, 약액의 온도를 측정
결정사유
ㅇ 관세율표 제8419호에는 "가열, (중략).. 그 밖의 온도 변화에 따른 방법으로 재료를 처리하는 기계·설비·장치와 전기가열식이 아닌 즉시식이나 저장식 물 가열기"가 분류되고, 소호 제8419.89호에는 "그 밖의 기기"가 세분류됨
- 같은 호 해설서에 "이 호에는 단순히 온도의 변화만을 일으키게 하기 위하여 또는 온도의 변화(예: 가열·조리·배소·증류·정류·살균·건조·증발·응축·냉각 공정)의 결과로 재료가 변형되도록 하기 위하여 재료(고체·액체·기체)를 가열 또는 냉각공정에 놓도록 제작된 기계와 설비가 포함된다."고 설명하고 있음
ㅇ 본건 물품은 세정액을 일정 온도로 유지하기 위해 열전소자와 알루미늄판 등을 이용해 세정액을 가열·냉각하기 위한 장치이므로 제8419호에 분류함이 타당함
ㅇ 다만, 제9032호의 "자동 온도조절용 기기"로 볼 수 있는지 보면,
- 제9032호의 해설서에 자동조정용 기기는 주로 (A) 변화량을 측정·감지하는 간단한 장치(예: 온도변화에 감응하는 바이메탈 막대나 스트립)와 (B) 희망치(desired value)와 측정치(measured value)를 비교하여 작동시키는 제어(control) 장치, (C) 명령을 수행하는 조작(operating) 장치, 3가지로 구성된다고 설명하고 있으나, 본건 물품에는 온도조절을 위한 제어장치(control)가 없으므로 제9032호에는 분류될 수 없음
ㅇ 따라서 본건 물품은 온도의 변화(가열·냉각)로 재료를 처리하는 기계로 보아, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8419.89-9090호에 분류함 |
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