물품설명
ㅇ 물품개요
- 자기부상 방식의 '터보 분자펌프'로, 흡입구를 통해 들어온 진공 용기(Chamber) 내의 투입 가스 및 반응물질들을 압축하여 배기구를 통해 배출시켜 진공용기 내부를 진공상태로 만듦(용량 : 4300ℓ/ｓ, 도달진공도 : 10-9 torr)
- 기본 모델인 STP-IXA4506(터보 분자펌프)에 회전자 니켈 코팅과 TMS (온도조절장치, 70℃온도 유지)를 추가 장착
- 용도 : 반도체 제조시 건식 식각(Dry Etch) 공정에 사용

결정사유
ㅇ 관세율표 제8414호에는 "기체펌프나 진공펌프 … "가 분류되며, 소호 제8414.10호에는 "진공펌프"가 세분류되며,
- 같은 호의 해설서에서 "이 호에는 공기나 그 밖의 기체를 압축하거나 진공상태로 만들기 위한 수동이나 동력구동식의 기계와 공기나 그 밖의 기체를 순환시키는 기계를 포함한다."라고 설명하면서,
- "(A) 펌프와 압축기" 그룹에서 " … 분자펌프(molecular pumps)와 인트랩먼트 펌프(entrapment pump)[게터 펌프(getter pumps)·크리오 펌프(cryo pumps)]와 같이 특별히 진공을 만들기 위한 특수형의 것도 있다."라고 설명하고 있음

ㅇ 본건 물품은 진공을 만들기 위한 자기부상 방식의 터보 분자펌프인 '진공펌프'이므로 제8414호에 부합하는 물품으로,
- 본건 물품은 국제반도체장비재료협회(SEMI)에서 반도체 제조용 터보분자펌프로 인증을 취득한 점, 반도체 제조장비 사양에 맞게 '회전자 니켈 코팅' 처리와 'TMS'를 장착한 점 등을 고려했을 때, 본건 물품은 '반도체 제조용에 전용 또는 주로 사용하는 진공펌프'로 분류함이 타당함

ㅇ 따라서 본건 물품은 '반도체 제조에 전용되거나 주로 사용되는 종류의 진공펌프'로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8414.10-9010호에 분류함